本报告将汇报工研院8英寸MEMS中试线的建设定位、阶段成果，并进行相关技术分享和交流。

娄亮，现任上海新微技术研发中心有限公司研发中试部总监，新加坡国立大学博士，2023年入选上海市杰出工程师（青年）。2012年至2018年在新加坡微电子研究院，作为声学项目负责人，负责面向消费、工业和医疗的系列电容式和压电式超声MEMS传感器研发。主持开发了8英寸晶圆级的体硅和Post-CMOS单片集成两套超声MEMS专有工艺平台，转移整套工艺至格罗方德半导体公司，在国际上率先实现量产能力。迄今在相关领域顶级国际期刊和会议上发表论文60余篇，授权美国专利两项，申请授权国内专利10余项。