一种提高氟化钙晶体193nm激光辐照硬度的方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种提高氟化钙晶体193nm激光辐照硬度的方法

专利类别:

中国发明

专利（申请）号:

202210507490.9

申请日期:

2022-05-11

第一发明人:

寇华敏

其他发明人:

苏良碧，王华进，姜大朋，张博，王静雅，钱小波，张中晗

专利授权日期:

2024-02-06