一种高强高韧碳化硅陶瓷载盘、制造方法及应用--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种高强高韧碳化硅陶瓷载盘、制造方法及应用

专利类别:

中国发明

专利（申请）号:

201910283252.2

申请日期:

2022-04-10

第一发明人:

闫永杰

其他发明人:

专利授权日期:

2024-07-09