一种氮化硅陶瓷包封用氧氮玻璃及其制备方法和应用--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种氮化硅陶瓷包封用氧氮玻璃及其制备方法和应用

专利类别:

中国发明

专利（申请）号:

202211406178.7

申请日期:

2022-11-10

第一发明人:

梁汉琴

其他发明人:

曾宇平，夏咏锋，姚冬旭

专利授权日期:

2024-07-09