用于晶体生长装置的自动温控方法、系统和装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

用于晶体生长装置的自动温控方法、系统和装置

专利类别:

中国发明

专利（申请）号:

202410968598.7

申请日期:

2024-07-19

第一发明人:

苏良碧

其他发明人:

张中晗，吴庆辉，姜大朋，寇华敏，唐飞，张博，钱小波

专利授权日期:

2024-10-18