一种提高高反射薄膜激光损伤阈值的方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种提高高反射薄膜激光损伤阈值的方法

专利类别:

中国发明

专利（申请）号:

202110667270.8

申请日期:

2021-06-16

第一发明人:

陈笑迎

其他发明人:

游丽君，赵丽丽，宋力昕，郑刚，王枫

专利授权日期: