仪器设备

  一、物理镀膜设备

磁控溅射组-1

磁控溅射组-2

磁控溅射组-3

磁控溅射组-4

磁控溅射组-5

磁控溅射组-6

脉冲激光沉积设备-1

脉冲激光沉积设备-2

真空热蒸发设备

物理镀膜间


  二、化学合成设备

水热釜

快速退火炉-1

快速退火炉-2

快速退火炉-3

马弗炉

干燥箱

行星球磨机

离心机

去离子水设备

磁力搅拌器


  三、测试表征设备

紫外老化试验箱

高温高湿箱

自制电致变色循环平台

低温电学测试平台

四探针电学测试设备

傅里叶红外光谱仪

紫外-可见分光光度计-1

紫外-可见分光光度计-2

差示扫描量热仪

荧光光谱仪

接触角

薄膜厚度计

雾度仪

粒度分析仪