仪器型号:VG9000 

  生产厂家：英国Thermo Elemental 

  负责人：曾旺，朱月琴 

  联系地址：嘉定区和硕路585号E-111

  联系电话：69163596 

  手机号码：18800297325（曾旺），18721850797（朱月琴） 

  邮件地址：zengwang@mail.sic.ac.cn, yqzhu@mail.sic.ac.cn 

主要技术指标 

1.可测元素范围：元素周期表中除氢（H）外的所有元素，包括常用分析方法难以测定的C，N，O，P，S等轻元素 

2.检测浓度范围：超低检测限，大多数元素的检测限为0.1～0.001 g G^-1 

3.分析速度：快速，一次可给出多量、少量、痕量以及超痕量多元素分析结果

4.激发源：最大功率≥30W；最大激发电压≥50kV，最大激发电流≥1mA 

仪器主要用途  

适用于高纯金属、溅射靶材、稀贵金属、超级合金等材料的痕量杂质的半定量和定量分析，同时可分析C、N、O等轻元素；半导体材料包括硅片、CdTe、GaAs及其他多种高纯电子材料、

无机非金属材料的杂质分析；薄层分析，深度分布剖面分析等 

仪器型号:Autoconcept GD 90

  生产厂家：英国MSI 

  负责人：曾旺，朱月琴 

  联系地址：嘉定区和硕路585号E-112 

  联系电话：69163596 

  手机号码：18800297325（曾旺），18721850797（朱月琴） 

  邮件地址：zengwang@mail.sic.ac.cn, yqzhu@mail.sic.ac.cn 

主要技术指标  

1.可测元素范围：元素周期表中除氢（H）外的所有元素，包括常用分析方法难以测定的C，N，O，P，S等轻元素 

2.最低检出限：优于100ppt 

3.分辨率：优于4000 

仪器主要用途  

适用于高纯金属、溅射靶材、稀贵金属、超级合金等材料的痕量杂质元素的半定量和定量分析；可直接分析半导体材料、非导体材料等；可对复合材料、镀层、薄膜等进行逐层分析(溅射速率约为：0.38m/min)等